中科院微電子中心出產的0.8微米工藝光刻機，其光源和光電成像照准系統都是光電所的傑作。 作為光電所的一把手，趙院長對光刻機也算是大半個行家了。

只一眼，他就認出了這套光刻機的出身。1995年上半年微電子中心，才完成了0.8微米工藝光刻機的研發。產量在那里明擺著，一共也沒有生產出多少來。沒辦法，中科院當幕後老板，國內最有可能向這方面發展的夢幻集團，都放棄了走技術路線。除非國家上馬集成電路的大工程，否則根本沒有哪個單位吃飽了撐的，會去采購國產光刻機。

國產光刻機的市場占有率，不光是九十年代，哪怕到了二十一世紀也是個悲劇。魔都微電子號稱2009年就實現了90nm光刻機的國產，但是後來國內晶圓廠寧願買國外進口的二手線，也不要他的國產貨。

在光刻機上面，為何神奇的兔子能造就白菜定律，卻偏偏不起作用了？這一點也不奇怪，因為一是核心設備沒掌握，尼康卡你的脖子。二是光刻機的良品率上不去，產品便宜的再多架不住生產成本高。

當然，魔都微電子不管怎么說，總還是做了一些成績的。周碩雖然心里惋惜，但也明白國產光刻機不行，不是它一家的問題。

總之這年頭中科院微電子中心能賣出去的光刻機可謂是鳳毛麟角，而其中的光電設備只一眼趙院長就看出來確實是出自自家之手。

不管研究成果如何，這起碼說明周碩確實在實打實投入的研究技術。趙院長看向自家產品的眼神，自然也就溫柔了許多。

「這套設備說起來，還是我在光電所的時候親手制作的。」麻友公站在趙院長的身邊，感慨的說道：「院子。不論泛翰研究院的水平如何，起碼他們確實是在踏踏實實的做技術。就這一點上來說，也不應該對他們太過苛求了。」

「哼，你現在是人家的工人了。當然替東家說話。」趙院長有些傲嬌的哼哼著。眼睛卻在光刻機上怎么也挪不開。

他收斂了一下脾氣，好奇的問道：「這就是你們改進的0.5微米工藝光刻機？究竟做了哪些改進？」

「我們改進了……」麻友公開了個頭。突然停頓了一下，無奈的搖頭道：「我和研究所簽了保密協議的，具體技術不能說。」

「德行。」趙院長撇了麻友公一眼，看的他渾身不自在。沒辦法。他這一身本身可以說，多半都是來自趙院長的傳授。如今老師問他這點問題，自己卻表現的好像什么重大機密似的，難免有些心虛。

趙院長卻沒有多做計較，只是在光刻機前前後後的打著轉，就不信自己的眼力還看不出來有什么不同。

其實雖然麻友公這多少算是叛出師門，但趙院長心底里卻並不怎么怨他的。一是光電所這些年來。確實有些對不起麻友公。二一個，心里多少也希望自己的徒弟能有一個好的歸宿吧。

從這方面來說，他其實也理解麻友公保密的做法。假使改進技術真的有效，這里面涉及到的可是數以億計的金錢。泛翰研究院是私人公司。當然不可能讓人敞開了看。

就在這時，光刻機前的指示燈突然從紅色轉換成了綠色，並且發出了一道短促的「嗶——」聲。

一張直徑的晶圓盤片，從光刻機里被機械臂穩穩的送了出來。

「這是！」趙院長哪里會不知道這是怎么回事，光刻機里吐出來的晶圓表面上看並沒有什么不同，但他知道這已經是經過了光刻的盤片。

此時這張盤片上面的光刻膠，應該已經被蒸發了一部分。只要再把這張盤片送入蝕刻機，就可以根據光刻的路徑蝕刻出集成電路。

在場的所有人，除了保安部的安保人員以外，幾乎個個都和光刻機系統扯得上關系。自然也就都明白，泛翰研究院是否已經掌握了0.5微米工藝，答案就在這一刻了。

「諸位，我們泛翰研究院究竟有沒有掌握0.5微米工藝技術，大家此時此刻可以拭目以待了！這張單晶硅晶圓是我們改造之後的第一次光刻，我請你們記住1995年10月7日這個光榮的日子……」

周碩幾乎是虔誠的，把晶圓從光刻機轉移到蝕刻機上面，並且毫不遲疑的啟動了蝕刻程序。

只是此時此刻，似乎所有人都已經忘記了他們的初衷。只是全神貫注的看著那薄薄的單晶硅晶圓，心中卻已經有些相信泛翰研究院已經實現了0.5微米工藝。

問題很簡單，若非是有十足把握，周碩又怎么有這個勇氣，在眾人面前完成蝕刻程序？甚至有的人心里已經打起了小算盤，按照國內的傳統，說不定是已經有了成功經驗之後，才玩的這個出爐把戲吧。

不管如何，周碩胸有成竹的模樣，都讓他們的態度在不自覺間發生了變化。

和光刻程序比起來，蝕刻的速度就快多了。幾分鍾之後，酸液已經把沒有光刻膠覆蓋的地方，腐蝕出了只有零點零幾微米的微痕。微小到不論是人的肉眼、或者是普通的放大鏡都無法發覺的地步。

當然，以蜂巢實驗室里面的設備，有大把大把的方法可以對其進行觀察和測量。

至少在1995年的集成電路制造水平，0.5微米的線寬，一部光學顯微鏡就已經足夠、足夠。