國產0.8微米工藝集成電路生產線，與其說是為了振興國家的電子產業，不如說是為了解決有無問題。 ( 平南)

在沒有市場需求的前提下，僅憑借科研院所和國防工程的訂單，中科院微電子中心根本吃不飽。為了開發0.8微米工藝的技術，國家歷時三年時間投入了五個億的資金，才最終完成了整套設備的研發。但向國內供應的設備價格，最貴的光刻機也不過才百萬人民幣而已。

這條生產線不僅僅是需要解決光刻機的問題，像是等離子刻蝕、氣象沉淀設備，這些都是核心設備。此外像是擴散爐、離子源，挑片、舉片機，焊接機、鍍膜機、清洗機，一塊不起眼的集成電路如果想走下生產線，起碼要經過上百道工序，歷時十幾、幾十個小時不可。

這還只是芯片生產的前道工序，若是再算上封裝、測試等後道工序，設備清單能再增加幾倍的長度。

這些哪怕全部都是國產設備，建設一條集成電路生產線，也至少需要十幾億人民幣。

在這樣高的投入和稀薄的產出面前，中科院微電子中心的生意可想而知。哪怕是面對他們認為「大言不慚」的泛翰研究院，只要拿出真金白銀來，產品也一樣是照賣不誤。

從1995年上半年0.8微米工藝技術定型，實際上中科院微電子中心最大的買家，就是泛翰研究院。周碩前前後後下了三條生產線，價值將近一個億的訂單。結果搬空了微電子中心的倉庫，也不過才湊齊了一條半生產線而已。至於三條線全部配齊，起碼也要到1996年了。

但作為國家研究機構，微電子中心仍然是該賣設備賣設備。該罵你一樣罵你。沒辦法，誰叫人家是國內最權威的半導體研發機構。如果從級別上來看，說它是中國半導體學界的武林盟主也不為過……

當然哪怕只是一條生產線，若是日本尼康的產品月產量也能達到三萬片。若是荷蘭阿斯麥的產品。月產量五萬片也毫無問題。但國內技術不論是良品率還是自動化程度。都遠遠不及這兩家。尤其是0.8微米工藝基礎上倉促改造而來的0.5微米工藝生產線，良品率更是在原本就不高的產量上跌了一大截。

「周桑。nand閃存的生產相關工藝就是如此了。雖然你們的設備要比我們東芝的差一些，但完成生產流程是沒有問題的。」中村晴樹翻看了一下相關設備的參數設計，肯定的說道。

東芝雖然不怎么看得上這樣的小生意，但多少秉持著日本人的謹慎性格。還是派來了一個靠譜的技術人員。在中村晴樹的指導下，集成電路設計方案直接使用了東芝的技術，掩膜、光刻和擴散、沉降等技術參數經過不斷的調試，也都已經准備就緒。

在中村晴樹認可之後，周碩也有些興奮的向光刻機前的麻友公點了點頭。

麻友公操作著設備，將已經拋光和清洗完畢的晶圓，放入到光刻機中。接下來的工作。就不再是需要人為干預的了。

何況蜂巢實驗室作為泛翰研究院的核心實驗室，也不方便讓中村晴樹一個日本人呆太久，周碩連忙將他送了出去。

十三個小時之後，完成了八十三道工序的晶圓。經過最後一次清洗終於完成了它的加工歷程，安靜的躺在了實驗台上。

此時，蜂巢實驗室的十四位研究員全部聚集一堂，都圍攏在負責測試用的測頻儀前面。就像cpu在出廠之前，需要先進行測試一樣。芯片在制造過程中，總是難免會出現各種各樣的問題，導致一些殘次品或者缺陷。這時候，就要通過測頻確定它們的質量。

有缺陷的芯片被制造成低頻的cpu，通過邏輯屏蔽掉一部分功能，作為低端產品進行出售。而沒有缺陷的cpu則以完整的功能，作為高端產品進行出售。所以才會有一些cpu產品通過開核，來獲得更好、但更不穩定的性能。

和cpu檢測一樣，nand內存在封裝之前，也需要對其進行測試。不僅要獲得其具體的性能數據，也要通過產品的缺陷推導制造工藝存在的問題。

一張的晶圓上，這時表面上已經布滿了流光溢彩的花紋。這是通過氣象沉淀，附著在晶圓上面的有色金屬。這張晶圓上面密密麻麻的分布著30塊芯片所需要的集成電路，通過對它們的測試，將可以得到這條0.5微米工藝生產線運作的具體數據。