「北大路先生，你看我們的激光技術怎么樣？這套准分子激光設備，是我們泛翰研究院自行研制的，能夠生成193nm波長的紫外激光。」趙大健陪著笑，將日本檢查團領進了實驗室。

一七三所前研究員江清月，正是在這個實驗室里，進行著自己的工作。所謂准分子激光，並非是對激光本身屬性進行的描述，而是特指的發出激光物質為准分子。

准分子激光一般是由氙氣二聚體等惰性氣體或鹵素氣體，受到電子束激發形成的激光。光子能量波長范圍在157－353nm之間，由於激光是在氣體受到外來能量的激發，所引起的一系列物理及化學反應中，曾經形成但轉瞬即逝的分子發出的，所以被稱之為准分子激光。

這種激光的一個特點是壽命極短，只有幾十毫微秒的時間。超過這個時間，發出激光的分子，就會迅速還原成原本的氣體狀態。其中193nm波長的激光，就是用來作為治療近視等眼部疾病使用的激光刀。同時，193nm的激光也是後世光刻機普遍使用的波長。

江清月在眾人進入的時候，正操作著一台氟氬氣體激發的准分子激光器，測試將激光光源進行多次聚焦之後再恢復成平行狀態。

城三太郎幾乎是看到的第一眼，心里就大喊了一聲「八嘎雅路！」。從幾組透鏡的布置來看，泛翰集團顯然已經是在研究0.35微米工藝的光刻機了！光刻機的加工精度不同。使用的透鏡數量、種類和布置都有非常多的講究。

作為尼康光刻機項目的參與者，城三太郎對當前最先進的0.35微米工藝光刻機。透鏡的布置當然是了若指掌。他百分之百的肯定，泛翰集團目前已經摸到了這項技術的門路，實現技術突破恐怕只是時間問題了！

「趙部長，你這是做什么？」江清月看到一行人擠進了實驗室里，皺著眉頭問道。

「小江啊，快來我給你介紹一下！」趙大健呵呵笑著，擺了擺手說道：「這是日本東芝來咱們泛翰研究院的考察團，給國際友人們匯報一下咱們的研究進度。說不定還能給你的項目指點一二呢。」

江清月疑惑的看了趙大健一眼，她在泛翰研究院只是比較基層的研究員，級別是比不上趙大健的。但趙大健負責的是運營部，本身又管不到技術部的事情。她抬頭向外面看去，卻見到笑扉扉站在門外微微的點了點頭，這才放下了心來。

「我們的試驗正在測試高密度石英材料制作的鏡頭，在經過多次反射折射之後。進行色差補償的方案……」

「色差補償！」城三太郎微微一愣，臉上的表情就有些僵硬了。如果說之前他還只是懷疑，那么聽到江清月的研究內容，就幾乎是坐實了泛翰集團在0.35微米工藝的技術上，肯定是取得了不小的突破。色差補償是光刻機研究領域，非常重要的內容。通過使色差最小化。能夠抑制由激光帶寬變動所引起的光學鄰近效應。比如局部光斑、入射角和熱象差、偏振狀態控制能力的保持。

這些技術難題，直接決定了反射鏡的數量與類型。這些鏡頭設計的細節，每一點改進都意味著距離成功更近了一步。

「我能看看你們的實驗記錄嗎？」城三太郎還是非常謹慎的提出了他的要求，中國人或許可以擺一個花架子來騙他，但絕對沒有辦法編出一套正確的實驗結果來。如果這種實驗記錄都能編出來。那更說明他們掌握了這項技術……

「小江，還不快把你們的實驗記錄拿出來。給城三太郎先生看看？」趙大健說著，還回過身來致歉道：「城三先生是東芝方面的光刻技術專家，您稍微指點兩句，肯定會讓我們獲益良多。」