「周總。」鶴田和周碩握過了手，四下打量一下問道：「這是哪里？我以為我們是要在辦公室見面。」

周碩呵呵笑了一下，指著自己身後說道：「這是我們泛翰集團進行光刻機研究的實驗室，之前鶴田先生想要參觀沉浸式光刻技術，我看擇日不如撞日，就今天好了。」

「你要帶我們參觀泛翰集團的沉浸式光刻技術？」鶴田瞪大了眼睛，不可置信的問道。

「沒錯，我邀請鶴田先生和白石經理，一起參觀我們泛翰研究院的實驗室。」周碩笑眯眯的肯定回答道。

鶴田和白石茉莉奈對視一眼，紛紛看到了對方眼里的詫異。在這個特殊的時間點，眼看著雙方合作可能流產的時候，周碩竟然安排他們參觀泛翰集團最大的底牌！這是為什么？

帶著這樣的疑惑，鶴田和白石茉莉奈雙雙跟著周碩走進了地下實驗室的大門。

經過穿戴防塵服和除塵通道之後，三個人進入了實驗室內部。鶴田望著這龐大的地下空間，不由得有些眼暈。事實上這種密閉的地下空間，也確實比較容易引起一些人的心理反應。

周碩瓮聲瓮氣的聲音，從防塵面罩後面陸陸續續的傳了出來：「這是泛翰研究所的蜂巢實驗室，負責光刻機沉浸式技術的研發。沉浸式的研發要點總共有三個部分，分別是光源、鏡頭和防水光刻膠的研制。」

他邊走邊侃侃而談道：「我們的光源使用的是365nm的i線弧光燈光源，這樣在經過純水的折射之後，它的波長就變成了260nm。而純水，必須是9個9純度的去離子水。至於說沉浸式光刻最大的技術障礙，那肯定就是防水光刻膠了。普通光刻膠是無法在水中保持不擴散的，所以必須使用特制的……」

周碩倒是不怎么在乎保密的問題，如果來兩個人看兩眼、聽兩句科普就能把技術抄了去，那這種技術也沒有什么保密的必要了。沉浸式光刻技術在歷史上可是持續研究了十多年，才逐漸投入使用的技術。真要是形成論文，絕不會少於一個尼康運資料的木箱。在後世是幾種影響線寬因素中，非常重要的一個方面。

他們向實驗室內部走去，很快就到了一台機器前面。很明顯，白石茉莉奈一眼就看出來，這是一台尼康生產的0.5微米光刻機。此時它能夠出現在這里，不言自明是作為改裝實驗設備。

果然，周碩指著這台兩人高的機器說道：「二位，這就是我們泛翰研究院改裝之後，性能已經達到0.35微米的尼康光刻機了。」

「經過改裝後，它的加工能力達到了0.352微米水平。遺憾的是雖然加工能力提升，但它的良品率也下降了百分之十。」

白石茉莉奈抓住機會，突然打斷了周碩的話說道：「周桑，我能離近了觀察一下嗎？」

周碩挑了挑眉毛，想都沒想的點頭道：「當然可以，實際上我正想演示一下它的運轉過程。如果方便的話，白石經理請你幫忙操作一下旁邊的光源系統。」

與此同時他自己也站在光刻機另一邊的機櫃旁，開始在鍵盤上操作起控制電腦來。白石茉莉奈對尼康自產的光刻機當然無比熟悉，在周碩的指揮下也很快對光源系統進行了設置。

隨著設置的結束，一旁儲存晶圓的櫃子里，在細微的電機聲中突然轉動了起來。一片晶圓在機械手的操作下被送上了光刻台，已經塗好光刻膠的晶圓在對准系統的操作下，進入了准備接受激光照射的位置……

白石茉莉奈目不轉睛的透過玻璃窗，看著正在運轉中的光刻機鏡頭。

在光刻機最後一組鏡頭的下面，有別於尼康的設備，泛翰研究所的光刻機額外多出了一個玻璃罩。玻璃罩的左右有兩個小水管。白石茉莉奈知道，那是注入純水的通道。玻璃罩的下面到和晶圓上的光刻膠為止，現在應該已經注滿了高純度的去離子水。

真正的高純度去離子純水有些微微偏藍，而不是我們慣常見到的透明色。白石茉莉奈只能通過機械操作的對准系統運轉，來判斷光刻機是否在工作。因為她是看不到激光顏色的，這是由於光刻的激光高度集中根本不會散射出來，人眼自然也就無看到激光的存在。

周碩站在一旁，雙手抱胸看向兩個人，不咸不淡的笑道：「怎么樣，我們泛翰集團對尼康光刻機的改造，白石經理還看得過眼么？」

說完，他也不理白石茉莉奈的反應，轉過身來向鶴田問道：「我不說的話，想必鶴田先生肯定是在懷疑，我們泛翰集團又在耍花招騙取尼康的技術吧？」(未完待續。。)