但呈現在顧律面前的這台mocvd,雖然使用的仍舊是國內的行星反應室結構,但在設備的其他組成系統上,應該進行了深層次的優化。
顧律只是簡單的上下打量了這台設備一眼,就得出一個這樣的結論。
「張主任,你們的這台設備應該進行了一定程度的改裝吧,根據我的推測,這台mocvd不止最多可以同時生長兩片1.5英寸的gan寬禁帶半導體」顧律說出自己的猜測。
張主任豎起大拇指。
「你說的沒錯。」張主任拍拍設備,語氣略帶得意的開口,「這台設備買回來後,我就讓隔壁機械學院的幾位朋友改裝了一下。」
「你看著,在這塊源供給系統部分,我們加了一個恆溫器,可以保證金屬化合物一個衡定的蒸氣壓。」張主任指著儀器前端的加裝上去的一個恆溫器為顧律介紹。
「還有這。」張主任把顧律領到mocvd的背面,「這塊是氣體運輸系統,原本這里是只有一條管道的。」
「但是我們又增加了一條,這樣的話,可以迅速變化反應室內的反應氣體,並且還不會引起反應室內壓力的變化」
張主任為顧律詳細的介紹了這台設備的改裝情況。
除了反應室系統仍舊選擇行星反應之外,其余的幾個部分的系統皆進行了一定程度的改裝優化。
「那」
顧律問出了自己最關心的問題,「那現在,這台設備最大的產量是多少」
張主任豎起三根手指,「最多可以同時生產三根兩英寸的gan寬禁帶半導體」
「嘶」
顧律倒吸一口冷氣。
這產量
據顧律所知,國外veeco公司斥巨資新研發的一種型號的mocvd,也就比這個產量稍微高點。
正在顧律嘖嘖驚嘆的功夫,這台設備剛好結束了一輪的工作。
一旁的研究員助理就要過來取走成品。
張主任擺擺手,戴上白手套,表示要親自將這次的成品取出。
忙活一陣後,張主任將兩條長長粗粗的gan寬禁帶半導體取出。
張主任雙手摩挲在這個長長粗粗的物件上。
「你們也過來摸摸,手感很不錯,硬硬的,還有點燙。」張主任笑著招呼顧律師徒兩人。
顧律扯了扯嘴角,然後,和張主任一塊摸起來。
在旁邊就擺著一台專門用於切割的儀器。
隨著一陣吱吱吱的聲音,長長的寬禁帶半導體被切割成許多小段。
顧律拿起一塊,在燈光下觀察切割的截面。
「成色很不錯啊」
這樣的半導體,只需要經過簡單的幾步除雜手段,就可以直接拿出去加工了。
反倒是一旁的張主任不是很滿意的搖搖頭,「還是不太行,整條半導體,最終可以利用的只有8o左右,剩下的部分還是雜質太多。」
顧律手中拿的那一截,是位於整條半導體的中間部位,成色當然不錯。
但位於兩端的部分,則是因為含雜太多。
在實際生產的過程中,需要進行融化分解後,再投進mocvd中二次生產。
這其中就產生不少浪費。
不過這是相當普遍常見的現象,想要完成百分百的利用率,那基本是不存在的。
8o這個數字已經算是不錯的了。</br></br>