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商海微電子公司。

來到這家公司調研的陳今，看到面前的這台22納米分辨光刻機，聽了該公司的老總張昱明的介紹後。

「你說這么好的設備，不能用於芯片的制造，為什么不能？」

陳今皺著眉頭，這太可惜了吧。

「不是不能，而是太慢！我們想了各種辦法提高它的曝光效率，但曝光一張影刻，依然需要五天的時間，效率是傳統光刻幾萬分之一，這完全抵消了我們的成本優勢，只適合給一些較小規模的市場，比如軍用芯片、光學器件、高精密光柵、光子晶體陣列等等，這些領域我們的分辨光刻機賣了好幾十台。」

「但大規模的芯片制造，只能老老實實地展傳統光刻。」

張昱明搖著頭道。

目前商微電子的1onm光刻機，走的就是193nm光源浸沒式光刻路線，但制造成本太高，沒有市場競爭力，又面臨著asm1的專利壁壘，故而沒有推向市場。

euv光刻方面，商微電子與國內很多機構合作，取得了一定的突破，但也面臨專利方面的問題。

很多高精尖設備，不是說z國人打破不了壟斷，而是專利壁壘擋在了那里。

「你們有沒有辦法加快它的曝光效率，趕上傳統光刻機呢？」

陳今問道，他覺得分辨光刻這條路線，真的可以繼續走下去，應用於大規模芯片制造。

「辦法有！但實現太難了，以現有的技術，幾乎不可能實現。」

「你先說說你的辦法。」

「增加『筆』的數量，就是把光刻鏡頭做小！在手指頭大小的光刻鏡頭內，集成1萬個微型鏡頭，讓這些微型鏡頭同時參與工作，完成集成電路的影刻。」

張昱明搖著頭，見陳今聽得一臉認真，不得不繼續道：「芯片內部的結構並不是非常復雜，每個die都是一樣的構造，每個晶體管也是相同的，一萬個微型鏡頭，同步完成一樣的工作，可大大加快分辨光刻的效率。」

「甚至如果能做出這樣的光刻鏡頭，我們可以在一台分辨光刻設備內，集成十組、一百組光刻鏡頭，在直徑過1oo英寸的晶圓上進行光刻，1o萬、1oo萬個的微型鏡頭同時工作，整體光刻效率，甚至遠遠過傳統光刻機！」

「但……太難了，以現有的工業制造能力，生產出那樣的光刻鏡頭，至少得等到2o年以後。」

問題是二十年後，隨著工業技術的提高，傳統光刻機的造價也降下去了，分辨光刻還是不具有明顯的競爭優勢……這條路，前景雖好，卻注定成不了一條光明大道。

「所以說，主要只是一個光刻鏡頭的問題，對么？」

陳今眼里閃爍亮光說道。

「是的，主要的難點就是鏡頭。」

「好辦，鏡頭好辦……星海科技，有辦法提供你所說的這種鏡頭。」陳今說道。

張昱明正點著頭。

突然卡了一下。

扭過頭看著陳今，一臉呆愕！

喃喃問道：「陳總你說什么？」